(국민문화신문) 최은영 기자 = 용인시산업진흥원(원장 김윤석, 이하 진흥원)이 관내 반도체·바이오헬스 기업의 기술경쟁력 강화 및 신성장 동력 확보의 일환으로 반도체 소재⋅부품⋅장비(이하 소부장) 분야 2개 기업, 바이오헬스 분야 6개 기업과 R&D 지원사업 협약을 맺고, 본격적인 지원을 시작하였다. 반도체 소부장 R&D 지원사업에 선정된 ‘제이에스티’는 반도체 장비용 온도제어장치 및 Power Supply와 후공정 챔버를 개발하여 공급하고 있는 기업으로 본 사업에서 친환경 냉매 및 이원냉동시스템을 이용한 웨이퍼 검사장치용 고발열 극저온 칠러 개발에 도전한다. 마찬가지로 반도체 소부장 R&D 지원사업에 선정된 ‘아이앤피’는 반도체 제조용 기계 등 소재⋅부품 전문기업으로 반도체 설비의 가스관 정제용 고내열 ..
